WizTree isimli ücretsiz yazılımı kurarak hangi klasörün ne kadar boyut kapladığını sistem dosyalarını da görerek kontrol edebilirsiniz. İstemediklerinizi bir şekilde silersiniz.
Bu arada 526000 dosya çok fazla. Dosya sayısı fazla olan klasörleri de kontrol etmenizi tavsiye ederim. Eğer Windows bu kadar dosya içeriyorsa WinSXS temizliği tavsiye ediyorum.