Sorunun sebebi tam olarak güncel olmayan bir Windows 7 kullanmanız. Sisteminiz kaldırıyorsa Windows 10'a, kaldırmıyorsa 8.1'e geçmenizi öneririm. Sadece bu sorun yüzünden değil, genel olarak bile. İllaki Windows 7'de kalacağım diyorsanız eski bir Process Monitor sürümü deneyebilirsiniz. Şu 3.33'müş mesela: