Fotolitografi işlemi nedir?

Fotolitografi işlemi nedir, nasıl gerçekleşir?

Technopat'tan herkese merhaba @351633.

Bugün sizlere işlemciler için fotolitografi işlemini anlatacağım.
Önce basitçe ne olduğunu anladıktan sonra detaylarını anlatacağım.
Bu işlem sayesinde günümüz için işlemciler üretilmekte.
Kritik işlemlerden birisi.
Hazırsanız başlayalım.


Basitçe Fotolitografi nedir?

litografi aşaması.png


Fotolitografi: Silikon diskin üstüne ışığa duyarlı bir takım kimyasallar dökülür.
Bu işlemden sonra özel litografi makineleri işlemciye EUV ışını gönderir.
Bu ışın kafasına göre gitmez, giderken işlemcinin şablonu olan "mask"a çarpar.
Böylece işlemci şablonu silikon diske aktarılır.

Bu işlem sayesinde sayısızca işlemci üretmek mümkündür.
Eğer, bu süreç sarı değil normal bir ışık ortamında olursa silikon disk kırılabilir.

Fotolitografi neden sarı ışık altında oluyor?

sarı ışık.jpg


Silikon disk üstüne dökülen ışığa duyarlı madde beyaz veya farklı renkler dahilinde olan ışıklara tepki verir.
Fakat, sarı renge vermez.
Eğer bir ışığa duyarlı kimyasal dökülmüş silikon diski beyaz ışığa tutarsak çatlar.



Fotolitografi işleminin çalışma mantığı.

litografinin gerçekleşmesi.png


Fotolitografi işlemi çalışma mantığı tamamen ışık temellidir.
Basit bir işlem gözükse bile önemlidir.
EUV makinesinden ultraviyole ışınlar gönderilir bu ışınlar işlemcinin şablonu olan "mask"a çarpar.
Sonra devam eder üstünde su olan bir mercek ile silikon yüzeye aktarılır.
Su önemlidir çünkü su küçültücü ve kırıcı bir etkisi vardır

Yani tamamen ışık tabanlı.
Gelin bu işlem için gereken makine ve ekipmanları inceleyelim.



Mask yani şablon görevi gören maske.

mask.png


Bu görsel işlemci şablonu olan "mask"a ait.
Daha basitçe söylersek bildiğiniz maske.
İşlemci maskelerinin üretimi ortalama 5 gün sürmekte.

Bu maskeler özel mühendislerce oluşturulmakta.
Özel ışınlı makineler işlemci projesini maskeye aktarır.
Yavaş ve dikkatlice bir şekilde işlemci şablonu maskeye geçer.

Maske içeriği: cam, kuartz, Chromium (kronyum tarzı bir kimyasal kaplamadır). Bir maske bu materyallerden oluşur.
Maskelerin üretim süresi üreticiye göre değişmekte Intel bir maskeyi 5 gün içinde yapabiliyor.



EUV ışın makinesi.

makine.jpg


Özel, EUV makineleri sayesinde ışık maskeye çarpar ve Fotolitografi işlemi tamamlanır.
Bu makinelerin yapımı 12 aydan bile uzun sürebilir.
En bilindik geliştiricisi Hollandalı ASML şirketidir.

Bu makineler ile maske montajlanır.
Artık fotolitografi işlemi için hazırdır.

Bütün koşullar sağlandıktan sonra işlem gerçekleşir ve böylece silikon diskinizin üstüne işlemcinizin şablonu çıkar.
Başka bir makalede görüşmek üzere!
 
Son düzenleme:

Yeni konular

Geri
Yukarı